カセット洗浄装置

ウェハ用・液晶基板用等カセット専用洗浄装置です。

カセット洗浄装置
洗浄工程

洗浄液

洗浄液には、多種の組み合わせが有ります。 代表的なものを下記に記します。
●アルカリ系洗浄剤・水又は純水・温純水

使用方法

専用バスケット又はガラスカセットを、ローダーにセットしていただければアンローダーまで自動搬送いたします。バスケット又はガラスカセットを出していただければOKです。

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