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製品案内

レーザースクライバー AMASS-8000

レーザースクライバー

便利な機能と適正価格で御提供します。

●対応ワーク:2”~12”Φウエハ、異形材料

●2”~4”用→サファイアLEDなど

●8”~12”用→CMOS、半導体など

●基本構成→全自動ローダーアンローダー付

●オプション→ブレイキング機構

●自社製造エンジンの搭載→個別ニーズ対応

●メンテナンス対応→クイックメンテナンス

ライティング技術に必要な微細加工技術を提供します。

●デブリやごみの出ないダイシング→クリーンダイシング*

●高熱伝導度材料のダイシング→サファイア、SiC

●関連材料のダイシング→セラミック、プラスチック

●高輝度化のためのダイシング→肉厚サファイアダイシング

●複合素材のダイシング→ガラス、セラミック、金属、接着剤

●多様なダイシング→スクライブ、フルカット、クリーンダイシング

*クリーンダイサーは透明体にのみ適用できます。

種々の機能加工

種々の機能加工

●スクライブ→照射表面で溝を形成後ブレイク

●フルカット→素材を全て蒸発させる

●クリーンダイシング→裏面から準非熱加工

●表面剥離→表面のコーティングや汚染を蒸発除去

●溶着→ロウ付けや母材溶着によるマイクロ溶接

種々の機能加工

加工応用例

5”ウエハー或いは8”ウエハー1枚に取り付けられるワークであれば全自動で処理できます。
特に力をかけてはいけないものや薄膜材料の異形加工には最適です。
加工応用例

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ブレーキング装置「WB-1100フルオートブレイカー」

ブレーキング装置「WB-1100フルオートブレイカー」

「4インチウェハ対応」「完全フルオート」「低価格」
本装置はスクライブが完了したLED用のGaAs、InP、サファイヤを予め登録された加工レシピに基づき
フルオートでブレーキングする装置です。

1.特徴

●カセット to カセット、25枚のウエハをフルオートでブレイク

●4インチウエハ対応

●割れ欠けウエハに対応

●豊富な実績によるブレイクアプリケーション技術搭載

2.最適なブレイク条件を作り出す豊富な機能

●ピッチ送り、飛ばし加工、ライン確認加工の設定

●分断結果確認機能(追加条件再ブレイク機能)

●加工レシピ自動選択

●レシピ書き換え制限機能

3.メンテナンスを大幅に軽減

●加工テーブルの回転駆動部をボールネジにしました。

●ブレイク刃の自動クリーニング機能を付けることが出来ます。

特  徴

仕様寸法

本装置はスクライブが完了したLED用のGaAs、InP、サファイヤを
予め登録された加工レシピに基づきフルオートでブレーキングする装置です。

●完全フルオートで高速、省人化

ワークが収納されたカセットをローディングするだけで、収納ワーク全ての加工が終わるまで完全フルオートでブレイク加工を行ない、
高速、省人化に大きく貢献します。また、加工テーブルへの供給・収納作業をオペレーターが行うセミオートタイプと全てを手動で行なう
マニュアルタイプを選択できます。

●ブレイク確認機能で歩留まり低下を防止。

完全にブレイクできたかを確認する画像認識機能により、ブレイク出来ていないラインに対し、押し込み量やハンマー衝撃を追加して、
完全ブレイクする機能です。これにより歩留まりの低下が防げます。

●作業過程でのワーク位置ずれを防止

ブレイク作業を続けていくと、テープの伸びにより位置ずれが発生します。ブレイクするラインの順番を選択する事により、
位置ずれ最小限に抑制できます。

●最適なブレイク条件で劈開するための豊富な機能

最適な上刃の押し込み深度や、ハンマーの回数、強さを登録する事で、最適なブレイク条件で劈開が可能となります。
また、ワーク厚みの差に対応する為、ワークをY方向で5つのエリアに分け、そのエリア内で最適なブレイク条件となるよう、
上刃の押し込み深度の補正量を入力しておく事が出来ます。

●割れ欠けワークにも対応

高性能ワーク形状認識ソフトにより、割れ欠けワークも認識が出来ます。

●加工レシピ自動選択機能(オプション)

カセットからのワーク取り出し時にリングに添付してあるバーコードを読み取り、加工レシピを自動的に選択し加工します。

●ブレイク刃の自動クリーニング機能 (オプション)

ブレイク加工中に発生する切り粉が、上刃とワークに傷を付けてしまうのを避けるため、加工終了毎にブレイク刃を
自動的にクリーニングする機能があります。いつでも最適な加工ができ、上刃の寿命も延ばせます。

●加工テーブルの回転駆動にボールねじを採用

従来のベルト駆動に比べ、精密な位置決めが可能です。また、ベルト駆動に見られる経年使用によるベルトの伸びが無い為、
精密位置決め性能を維持します。

●ダブルCCD仕様(特許出願中)

2か所にCCDを配置させ、ウェハーの分断ピッチずれを最小にし、不良発生を減らします。

●レシピ書き換え制限機能でトラブル防止

加工レシピはパスワード管理ができるので、現場作業者による不意のレシピ書き換えを防止します。

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用途別対応洗浄装置

洗浄装置

USメックの洗浄装置は、オーダーメイドからOEMまで対応。精密機器・工業機器・レンズ・医療(施設・機器)・レストラン業等の、各業界で活躍しています。

・液晶用パネル用洗浄装置
・電子部品用洗浄装置
・カセット洗浄装置
・トレー専用洗浄乾燥装置
・金属部品用洗浄装置

LCD

●液晶ガラス

多槽式自動洗浄装置 ワンサイクル洗浄機 枚葉式洗浄装置 PI剥離洗浄装置 ドラフト洗浄機 スティック洗浄機 受入洗浄装置 成膜後洗浄装置 Panel洗浄装置(乾燥機付) 面取後洗浄機 多槽式液晶取り洗浄装置 超音波洗浄装置 レジスト塗布前洗浄装置 研磨後洗浄装置 パネル洗浄・アニール炉装置 セルクリーナー エッチング装置

●ガラス・ガラス基盤

ワンサイクル純水洗浄装置 多槽式自動洗浄装置 温純水引き上げ装置 IPAベーパー槽 純水引き上げ装置

●TFT-CF

Glass加工後洗浄装置 CF3移替え洗浄装置(枚葉式) 前洗超精密洗浄機(枚葉式) Glass基板洗浄装置 受入洗浄機(枚葉式)

●TFT-LCD

PI Dummy Rework Panel cleaner CF2成膜後洗浄装置 Grind後洗浄装置
偏光板貼付前洗浄装置 パネル洗浄装置 Rubbing後洗浄装置

●STN-LCD

Rubbing後洗浄装置

●APR版

APR版洗浄装置

HDD

カセットケース・トレー

チップトレー洗浄装置 カセット洗浄装置 カセット自動洗浄装置 LC/BOAT洗浄装置 ケース洗浄装置 トレー洗浄装置 LC/BOAT洗浄装置
トレーシャワー洗浄装置 LC/BOAT洗浄装置 マスク洗浄装置 BOX洗浄乾燥機 Cassette Cleaner CF膜剥離洗浄装置 マスク洗浄装置

電子部品

●HDD

HDD部品洗浄装置 単槽式洗浄機 多槽式自動洗浄装置 FPC洗浄装置 LPC洗浄装置 乾燥機 ポット洗浄機 メガソニック洗浄機 ドライヤー

●ヘッド

HGA洗浄機 HGA洗浄乾燥機 多槽式自動洗浄装置 自動超音波洗浄装置 自走式洗浄装置 チャック治具洗浄装置 ケース自動洗浄装置
MR-PO自動洗浄装置 ブラシ洗浄装置 EW-BAR洗浄装置 真空乾燥装置

●プリント基盤

多槽式自動洗浄装置 ワンサイクル型洗浄装置 IPA洗浄装置 IPA自動洗浄装置 多槽式自動洗浄機・改造 基板洗浄装置 多槽式超音波洗浄装置

●ウエハー・水晶・真空部品・ほか

多槽式自動洗浄装置 多槽式超音波洗浄装置 水晶切断後洗浄装置(A) 水晶ウェハーポリッシュ後洗浄装置 エッチング装置 IPAベーパー槽
多槽式手動部品洗浄機 スピン洗浄機 マスク洗浄機 C/V改造 簡易型洗浄機 FPC洗浄装置 ユトルーナ洗浄装置 エタノール洗浄装置
リレー洗浄装置 自走式洗浄装置 クリーンコンベアー ロータリー型洗浄装置 ワンサイクル洗浄装置 IPA多槽式自動洗浄装置 IPA洗浄装置
多槽式エッチング装置 PDL洗浄装置 PI基板洗浄装置 ネット式シャワー洗浄機 超純水洗浄装置 多槽式代替フロン洗浄機

●薄肉化エッチング装置

薄肉化エッチング装置

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太陽電池基盤

HF処理装置 BE処理装置 塩酸処理装置 ウェハー洗浄装置 半田処理装置 前処理装置 HCL処理装置 溶液成長装置 フッ酸調合装置
化成供給装置 荒洗浄装置 仕上げ洗浄装置 スラリー洗浄装置 HF装置 溶液成長装置

車・金属・ゴム・医療・ほか

●車部品

自動車部品洗浄装置 ワンサイクル洗浄機 インライン式洗浄機 多槽式自動洗浄装置 塩化メチレン多槽式洗浄機 シャワー洗浄装置
ネットコンベアー バルブボディ洗浄装置 オルソープ フラックス洗浄機 ECVC自動洗浄装置 ターボチャージャー洗浄機 防錆洗浄装置
クランクシャフト洗浄機 ボンデ洗浄機 クランクシャフト洗浄機 CLD用洗浄機 クールボックス部品洗浄機 旋回式自動洗浄装置
ASSスプレー洗浄装置 金型超音波洗浄装置 石油系洗浄機 中空ラックスプレー洗浄機

●金属部品

ユトルーナ洗浄装置 多槽式自動洗浄装置 塩化メチレン多槽式洗浄機 ワンサイクル洗浄機 チラーユニット シャワー洗浄装置 アンテナ洗浄装置
ガバナカバー洗浄機 部品水切り乾燥装置 多槽式メチクロ洗浄機 ファン塗装装置 多槽式超音波洗浄機 水溶性焼入れ前洗浄機品洗浄機
水溶性洗浄装置 ライトエッチ装置 真空ポンプ部品洗浄装置 バルブ洗浄装置 多層式メチクロ洗浄装置 メタクレン洗浄装置 IPA多槽式洗浄装置
プレス部品洗浄装置 治具洗浄装置 小物部品洗浄機 CEP(パイプ)洗浄装置 部品洗浄装置・改造 塗装前洗浄装置 メタクリンベーパー洗浄機
ECVC内蔵2方弁洗浄機 代替フロン洗浄機 トリクレン洗浄機 塗装冶具洗浄装置 アウター洗浄機 有機洗浄ドラフト 流し台ロール洗浄機
簡易洗浄機 溶剤洗浄装置 水洗浄装置 仕上げ洗浄装置 真空超音波洗浄装置 ベーパー槽

●ゴム

ゴムローラー洗浄装置 ロータリー型洗浄装置 ドラフトチャンバー 多層式超音波洗浄装置

●医療・航空・食品ほか

療器洗浄装置 注射針用洗浄機 多層式メタクレン洗浄装置 人工透析部品CL洗浄装置 注射針アルカリ洗浄装置 航空部品用洗浄機・最終洗浄装置
スプレー洗浄機 メタルマスク洗浄機 フープ式洗浄装置 OPCコーティング装置 乾燥機 超音波ユニット マジックドライ乾燥装置
ネットコンベアー式洗浄装置 塗装剥離装置 薬液タンクユニット クリーンブース MSシャワー洗浄機 Oリング洗浄機 ガラス基板乾燥機
マスク治具剥離装置 溶液成長ユニット ベーパー乾燥装置 パンダグラフすり板洗浄機 フィルム基板洗浄装置 IPA置換装置 真空乾燥機
純水洗浄機 冷却用循環槽 薬液装置 コンニャク用バット コンニャク用型枠

レンズ・ガラス製品

●レンズ

ワンサイクル型洗浄装置 多槽式超音波洗浄装置 多槽式自動洗浄装置 温純水洗浄乾燥装置 リセツツール洗浄機 多槽式メチクロ洗浄機
多槽式エタン洗浄機

●ガラス製品

ディスク洗浄装置 多層式自動洗浄装置 Pre-PUS洗浄装置(フッ酸) Pre-PUS101洗浄装置 CL洗浄装置 バルブ面洗浄機 枚葉式実験機
カセット洗浄装置 エッチング装置 エッチング剥離装置 ポストベークオーブン ガラス基板洗浄装置 浸漬製膜装置

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超音波振動子/超音波発振器

超音波発振器

異なる周波数の組み合わせで精密洗浄を均一化し、高レベルの洗浄力を実現。
大きさは用途に合わせてオーダーメイドします。
(周波数:28khz、40khz、80khz、100khz、160khz、170khz、200khz)

投げ込み方振動子

既存設備及びタンクへ簡単に取り付け可能です。
フレキシブルホースタイプと固定金具タイプの2種類があります。
(フレキホースの標準長さは1.5mです。)

フランジ方振動子

タンクにタップ穴つきフランジを溶接し、
ボルトで固定する方式や、振動板にスタットボルトを溶接し、
ナットで固定する方式など色々な仕様に対応可能です。
取り付け穴ピッチやパッキン材質等も柔軟に対応しますので、
お問い合わせください。

形式 参考サイズ
US3B(28kHz) 170(w)×180(d)×100(h)mm
US3B(40kHz) 170(w)×180(d)×80(h)mm
US6B(28kHz) 194(w)×294(d)×100(h)mm
US6B(40kHz) 194(w)×294(d)×80(h)mm
US12B(28kHz) 270(w)×410(d)×100(h)mm
US12B(40kHz) 270(w)×410(d)×80(h)mm

タンク付き超音波ユニットや洗浄装置の設計・製造・販売もいたしております。
実験用超音波ユニットの短期間の貸し出しも行っております。
当社の実験装置での洗浄テストも可能です。
超音波洗浄・温純水引き上げ乾燥・オーブン乾燥・枚様式洗浄スチーム洗浄等多彩に取りそろえております。
お気軽にご相談ください。

高耐圧トランジスタ(SIT)を採用

高効率で小型、軽量
振動子共振周波数、出力電圧調整が可能になっています。
FM発振回路を標準で搭載しています。 スープ発振方式等オプションもありますので、詳細はご相談ください。
標準出力として、28kHz・40kHz・80kHz・100kHz・160kHz・200kHzの周波数タイプがあります。
また、出力も300w・600w・900w・1200w・1800w・2400w・3600wと、多彩に取り揃えております。
組み合わせにより、300w単位で製作可能です。

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プレゼンテーションルーム

プレゼンテーションルームプレゼンテーションルーム

クリーンルームに洗浄装置を持つ、USメックのプレゼンテーションルーム。
洗浄に関するお客様のさまざまな課題を解決する実験ができます。

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納入実績

パートナーUSメックは、国内および韓国・中国・台湾・フィリピン・タイ・チェコ・イタリア・メキシコ・USAなど、世界各国のものづくりの パートナーとして信頼をいただいています。

納入実績

アイシン・エイ・ダブリュ
IPSアルファテクノロジ
旭硝子
ACODIS
AUO
AFI
ALLClean
アルプス電気
稲畑産業
e-Litecom
臼井国際産業
SKG
SAE
SFI
SKG
SMC
LOI
LG
遠藤製作所
NOK
FPDテクノロジー
沖電気
貝印カミソリ工業
カシオ計算機
カルソニック
カヤバ
北九州シーアイシー
キャノン
京セラ
木曽工業
京浜光膜
CANDO
QDI
現代電子工業
小糸製作所
サムコソーラー
佐藤工機
三洋電機
シチズン電子
シャープ
ショーワ
十文字光学
昭和シェル石油
信越半導体
新光電気工業
CCT
CPT
GPO
G-TECH
セイコーエプソン
セントラル硝子
ソニー
第一精工
大同特殊鋼
立石電機
千曲電子
TDK
CHIMEI
テクノプリント
テルモ
デンソー
TIP
TFPC
DTC
DTI
東京電気
東芝
東芝硝子
凸版印刷
巴川製作所
豊田自動織機製作所
東レエンジニアリング
東久
東海プレス
東海理化
TOPPOLY
三星電子
三星SDI
ニコン
日電アネルバ日産自動車
日東工業
日本IBM
日本板硝子
日本電気
日本電気硝子
日本電子機器
日本電波工業
日本ビクター
パイオニアビデオ
ハイメタル工業
パルステック
HANSTAR
東日本旅客鉄道
日立製作所
日立エレクトリックシステムズ
日立デバイスエンジニアリング
PVI
ヒムエレクトロ
ヒュルスジャパン
弘前航空電子
広島オプト
フジキン
富士写真光機
富士写真フィルム
富士ゼロックス
富士通
富士電機
ブラザー精密工業
VDS
フェローテック
松下電器産業      
松下電子工業
三井工機製作所
ミクニ
ミクロ技術研究所
三井石油化学工業
三菱化工機
三菱化成
三菱自動車工業
三菱ふそう
三菱重工業
三菱マテリアル
光村印刷
ミツル光学研究所
ミノルタ
ミラプロ
武蔵野ファインガラス
村上開明堂
明電舎
矢崎部品
ヤマハ
山本光学
ユニシアジェックス
ユニデン21
ユニバンス
横浜ゴム
理研パーツ
リコー光学
リョーサン
ワボウ電子
YHI(アイウエオ順・敬称略)

納入実績商社

アイティエス
アイペックス
アイメス
アセラ
アルプスエンジニア
ARA
稲畑産業
宇野商会
NI帝人商事
エムエス
大石機械
岡部製作所
岡谷鋼機
オグマ
小原化工
オプト
化工機商事
岸本産業
極東商会
コーシンインテックス
三工商会
三立興産
静岡フィルター販売
島田商事
伸栄化学産業
常陽工学
ソーダニッカ
タクト
東鉱商事
トクヤマ
豊田通商
日化設備エンジニアリング
日本サムスン
豪勉科技
原田商事
日立造船
詮國際股份
本多電子
マス商事
マック産業
丸一化成
ミクロ技研
三菱化工機
三菱商事
モトヤマ
ヤマキ産業
ユアサテクノ
ユシロ化学工業
レイボルド
ワイコム
ワイケイ
ワシノ商事
渡商会(アイウエオ順・敬称略)

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